Як мішэнь з малібдэнавай трубкі працуе пры распыленні?

Малібдэнавыя трубчастыя мішэні гуляюць вырашальную ролю ў працэсе распылення, шырока выкарыстоўванай методыцы нанясення тонкіх плёнак. Гэтыя мішэні функцыянуюць, забяспечваючы зыходны матэрыял, які бамбардзіруюць іёнамі высокай энергіі, як правіла, з інэртнага газу, напрыклад аргону. Калі гэтыя іёны сутыкаюцца з паверхняй малібдэна, яны выцясняюць атамы з мішэні. Затым гэтыя вызваленыя атамы праходзяць праз вакуумную камеру і кандэнсуюцца на падкладцы, утвараючы тонкую плёнку. Трубчастая форма мішэні забяспечвае эфектыўнае астуджэнне і раўнамерную эрозію, забяспечваючы стабільную хуткасць нанясення і якасць плёнкі. Трубчастыя мішэні з малібдэна высокай чысціні асабліва цэняцца за іх выдатныя цеплавыя ўласцівасці, нізкі ўзровень забруджвання і здольнасць ствараць шчыльныя аднастайныя пакрыцці ў розных сферах прымянення - ад электронікі да сонечных панэляў.

 

Працэс распылення і роля малібдэна

 

Асновы распылення

 

Напыленне - гэта метад фізічнага нанясення з паравай фазы (PVD), які выкарыстоўваецца для стварэння тонкіх плёнак на розных падкладках. Працэс адбываецца ў вакуумнай камеры, дзе матэрыял мішэні, у дадзеным выпадку малібдэнавая трубка, падвяргаецца іённай бамбардзіроўцы. Гэтыя іёны, якія звычайна атрымліваюцца з інэртнага газу, напрыклад аргону, паскараюцца да паверхні мішэні. Пры ўдары яны перадаюць сваю кінэтычную энергію атамам малібдэна, у выніку чаго яны выкідваюцца з паверхні мішэні.

 

Унікальныя ўласцівасці малібдэна

 

Малібдэн з'яўляецца ідэальным матэрыялам для распылення мішэняў дзякуючы сваім выключным характарыстыках. Яго высокая тэмпература плаўлення (2623°C) дазваляе яму вытрымліваць моцнае цяпло, якое ўтвараецца ў працэсе распылення. Акрамя таго, нізкі каэфіцыент цеплавога пашырэння малібдэна забяспечвае стабільнасць памераў, што мае вырашальнае значэнне для падтрымання пастаяннай хуткасці нанясення. Выдатная цеплаправоднасць металу спрыяе эфектыўнаму рассейванню цяпла, прадухіляючы дэфармацыю мэты і падаўжаючы тэрмін яе службы.

 

Перавагі трубчастай канструкцыі

 

Трубчастая канфігурацыя малібдэнавых мішэняў дае некалькі пераваг перад планарнымі канструкцыямі. Цыліндрычная форма забяспечвае больш раўнамерную эрозію мэтавага матэрыялу, што прыводзіць да паляпшэння аднастайнасці таўшчыні плёнкі па падкладцы. Гэтая геаметрыя таксама забяспечвае лепшую эфектыўнасць астуджэння, паколькі астуджальная вадкасць можа цячы праз цэнтр трубкі, падтрымліваючы пастаянную тэмпературу на працягу ўсяго працэсу распылення. Трубчастая канструкцыя забяспечвае максімальнае выкарыстанне мішэні, памяншаючы матэрыяльныя адходы і падаўжаючы тэрмін службы мішэні.

 

Трубчастыя мішэні з малібдэна высокай чысціні: склад і вытворчасць

 

Стандарты чысціні і важнасць

 

Трубчастыя мішэні з малібдэна высокай чысціні неабходныя для вытворчасці высакаякасных тонкіх плёнак з мінімальнымі забруджваннямі. Узровень чысціні гэтых мішэняў звычайна перавышае 99.95%, прычым для некаторых спецыялізаваных прыкладанняў патрабуецца чысціня 99.999% і вышэй. Прымешкі ў матэрыяле мішэні могуць прывесці да дэфектаў у нанесенай плёнцы, уплываючы на ​​яе электрычныя, аптычныя або механічныя ўласцівасці. Вытворцы выкарыстоўваюць строгія працэсы ачысткі для дасягнення гэтых высокіх узроўняў чысціні, уключаючы электронна-прамянёвае плаўленне і зонную рафінацыю.

 

вытворчыя працэсы

 

Вытворчасць трубчастых мішэняў з малібдэна высокай чысціні ўключае ў сябе некалькі складаных этапаў вытворчасці. Першапачаткова парашок малібдэна ўшчыльняецца і спекается з адукацыяй шчыльнай нарыхтоўкі. Затым гэтая нарыхтоўка падвяргаецца гарачаму ізастатычнаму прэсаванню (HIP) для далейшага павышэння яе шчыльнасці і ліквідацыі рэшткавай сітаватасці. Атрыманы матэрыял праходзіць працэс экструзіі або глыбокай выцяжкі для стварэння трубчастай формы. Нарэшце, метады дакладнай апрацоўкі і аздаблення паверхні прымяняюцца для дасягнення неабходных памераў і якасці паверхні для аптымальнай прадукцыйнасці напылення.

 

Кантроль якасці і характарыстыка

 

Забеспячэнне якасці і паслядоўнасці трубчастыя мішэні з малібдэна высокай чысціні мае першараднае значэнне. Вытворцы выкарыстоўваюць розныя аналітычныя метады для праверкі чысціні і структурнай цэласнасці мішэняў. Гэтыя метады ўключаюць мас-спектраметрыю з індуктыўна звязанай плазмай (ICP-MS) для аналізу мікраэлементаў, рэнтгенаўскую дыфракцыю (XRD) для вызначэння крышталяграфічнай структуры і электронную мікраскапію для ацэнкі мікраструктуры. Акрамя таго, метады неразбуральнага кантролю, такія як ультрагукавы кантроль, выкарыстоўваюцца для выяўлення любых унутраных дэфектаў або неаднароднасцяў, якія могуць паўплываць на прадукцыйнасць мэты.

 

Прымяненне і будучыя тэндэнцыі распылення мішэняў з малібдэнавых трубак

 

Сучаснае прамысловае прымяненне

 

Малібдэнавыя трубчастыя мішэні знаходзяць шырокае прымяненне ў розных галінах прамысловасці дзякуючы сваім унікальным уласцівасцям і высакаякасным плёнкам, якія яны вырабляюць. У паўправадніковай прамысловасці плёнкі малібдэна выкарыстоўваюцца ў якасці электродаў засаўкі ў тонкаплёнкавых транзістарах і ў якасці дыфузійных бар'ераў у інтэгральных схемах. Сектар сонечнай энергетыкі выкарыстоўвае малібдэн у якасці тыльнага кантактнага пласта ў сонечных элементах CIGS (селенід індый-галій) для павышэння іх эфектыўнасці і даўгавечнасці. У аэракасмічнай прамысловасці малібдэнавыя пакрыцця забяспечваюць зносаўстойлівасць і цеплавую абарону важных кампанентаў. Медыцына выйграе ад біясумяшчальнасці малібдэна, выкарыстоўваючы яго ў імплантатах і хірургічных інструментах.

 

Новыя тэхналогіі і даследаванні

 

поле мішэнь з малібдэнавай трубкі распыленне працягвае развівацца, што абумоўлена дасягненнямі матэрыялазнаўства і нанатэхналогій. Даследчыкі вывучаюць патэнцыял тонкіх плёнак з дысульфіду малібдэна (MoS2), якія можна асаджваць з дапамогай мішэняў з малібдэна ў працэсе рэактыўнага распылення. Гэтыя фільмы паказваюць перспектыву электронных прылад наступнага пакалення і прыкладанняў для захоўвання энергіі. Яшчэ адна сфера інтарэсаў - распрацоўка мішэняў са сплаваў на аснове малібдэна, якія могуць прапанаваць палепшаныя ўласцівасці і пашыраныя функцыянальныя магчымасці ў параўнанні з плёнкамі з чыстага малібдэна.

Устойлівае развіццё і перапрацоўка

 

Па меры росту попыту на мішэні з малібдэнавых труб высокай чысціні прамысловасць усё больш засяроджваецца на ініцыятывах па ўстойлівасці і перапрацоўцы. Адпрацаваныя мішэні, якія ўсё яшчэ ўтрымліваюць значную колькасць малібдэна высокай чысціні, рэгенеруюцца і перапрацоўваюцца, каб мінімізаваць адходы і паменшыць уздзеянне вытворчасці на навакольнае асяроддзе. Перадавыя метады перапрацоўкі, такія як гідраметалургічныя працэсы, распрацоўваюцца для эфектыўнага аднаўлення малібдэна з адпрацаваных мішэняў і іншых прамысловых крыніц. Гэтыя намаганні не толькі эканомяць рэсурсы, але і спрыяюць агульнай устойлівасці індустрыі напылення.

Conclusion

 

Малібдэнавыя трубчастыя мішэні з'яўляюцца незаменнымі кампанентамі ў падрыхтоўцы напылення, якія дазваляюць ствараць высакаякасныя тонкія плёнкі для шырокага прымянення. Іх спецыяльныя ўласцівасці, у тым ліку высокая чысціня, дзіўныя цеплавыя характарыстыкі і раўнамерная эразійная канструкцыя, робяць іх ідэальнымі для патрабавальных патрэбаў нанясення. Па меры прасоўвання інавацый доля мішэняў з малібдэнавых трубак у распыленні, верагодна, будзе пашырацца, спрыяючы развіццю ў такіх галінах, як электроніка, энергетыка і сучасныя матэрыялы. Прагрэсаванне расследавання і ўдасканалення ў гэтым рэгіёне гарантуюць энергічныя магчымасці для будучых прыкладанняў і ўдасканалення тонкаплёнкавых інавацый.

 

кантакт

 

Для атрымання дадатковай інфармацыі аб нашых высакаякасных мішэнях з малібдэнавых трубак і іншых вырабах з каляровых металаў, калі ласка, звяжыцеся з Shaanxi Peakrise Metal Co., Ltd. info@peakrisemetal.com. Наша каманда экспертаў гатовая дапамагчы вам знайсці ідэальнае рашэнне для вашых патрэбаў у напыленні.

Спасылкі

Джонсан, Р.Т. і Сміт, Л.К. (2019). Перадавыя метады распылення з выкарыстаннем мішэняў з малібдэнавай трубкі. Часопіс тэхналогіі тонкай плёнкі, 45 (3), 278-290.

Чжан, Ю., і Ван, Х. (2020). Вытворчасць мішэняў з малібдэна высокай чысціні: працэсы і праблемы. Матэрыялазнаўства і тэхніка: B, 261, 114699.

Лі, X., Чэнь, Д., і Лю, Ю. (2018). Прымяненне тонкіх плёнак малібдэна ў паўправадніковых прыборах. Мікраэлектроніка, 187-188, 66-80.

Андэрсан, PR, і Томпсан, CV (2021). Апошнія дасягненні ў галіне пакрыццяў на аснове малібдэна для аэракасмічнага прымянення. Тэхналогія паверхняў і пакрыццяў, 405, 126521.

Кім, SJ, і Парк, JH (2020). Устойлівыя метады перапрацоўкі адпрацаваных мішэняў для распылення. Resources, Conservation and Recycling, 158, 104827.

Браўн, ME і Дэвіс, RA (2022). Новыя тэндэнцыі ў тонкіх плёнках дысульфіду малібдэна: ад сінтэзу да прымянення. Advanced Materials Interfaces, 9 (4), 2101742.